Dopodiché è una locuzione che nasce dall'unione di tre parole: dopo, di e che.
Sono corrette le varianti "dopo di che", senza la e accentata, che sarebbe anche la forma originaria della parola, e la grafia unita "dopodiché", in questo caso si tratta di una parola tronca, quindi vuole l’accento sull'ultima vocale e l’accento è acuto.
Tutte le altre varianti sono sbagliate.